激光干涉仪平整度测试仪

深圳市鑫衡森仪器设备有限公司提供激光干涉仪平整度测试仪。激光干涉透射法检测元件厚度差的原理：

在激光干涉仪进行透射测量时，激光光源发出的单色光,垂直向下经过被检元件上、下两表面被标准反射镜反射后会形成干涉条纹，每个点上所生的干涉条纹取决于该点上两相干的光的光程差。当光程差为nλ+0.5λ时，显示为暗条纹；当光程差为nλ+λ时，显示为亮条纹；

所以，当被检元件的两个面不完全平行，存在楔角时，沿楔角方向，元件的厚度逐渐增大，相应的光程差也逐渐变大，沿楔角方向就会产生间隔分布亮暗条纹。楔角越大，条纹越密集。
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